液晶パネルを構成するガラス基板の検査を行う装置です。
大型化する液晶パネルの品質を維持するためには欠かすことのできない装置です。
液晶パネル製造事業者
天井面、基板背面に設置された光源から、光をステージ上のガラス基板に照射し、基板の不良を目視検査します。
マザーガラス基板を扱うため非常に大型で、クリーンルームに設置される設備のため、組立はハイテク組立工場内で行いました。
| ワーク | 液晶パネル製造用 マザーガラス基板（G6、G8、G10サイズ） |
|---|
クリーンルームで使用する大型装置で工場の設備を見直すことが必要でした。急速にワークサイズが大きくなっていきステージの軽量化、低イナーシャ化に苦慮しました。
